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主軸徑向回轉精度的測量方法

放大字體  縮小字體 發布日期:2012-04-18  瀏覽次數:2142

超精密空氣主軸(以下簡稱主軸)可用作超精密加工機床或高精度計量儀器的主軸系統。主軸采用先進的氣體靜壓技術,徑向軸承和雙向止推軸承的各工作面均為靜壓氣浮面,且經過嚴格的動平衡,因而實現了非接觸的高精度回轉,具有無振動、低噪音的特點。

由于氣膜對軸系零件加工誤差的平均作用,因而軸系裝配后的回轉精度可以高于零件精度。對主軸主要技術指標——主軸徑向回轉精度要求達到小于0.1μm。這樣高精度的指標,即使加工出來了,也難以測量出它的精度,因而給測量帶來了極大的困難。通過幾年的摸索、研究,終于用雙向轉位法測出了主軸徑向回轉精度(0.07μm)。現將測量方法介紹給讀者。

1 檢測

1.1 檢測條件

環境溫度:20±1℃ 每小時變化:<0.1℃

相對濕度:30%~60%

被測主軸在恒溫室內定溫時間不少于24h;

被測主軸與標準器具的溫差不大于0.2℃;

被測主軸需安置在隔振基礎上,周圍無劇烈振動和沖擊;供氣壓力穩定在0.4±0.02MPaq

1.2 檢測用儀器和器具

① TESA電感測微儀(瑞士)(分辨率0.01μm),


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